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新竹強震晶圓破片

tweens

24分

11樓

tweens

個人積分：24分

文章編號：36554771

PHOTO 是當下當機的 wafer & SPC hold 異常的( MA or MSD 之類的 ) wafer 都 RWK 掉
機台重新 check REMA，有跑的 RWK 整個 LOT
當震當批加量 AA ( OVERLAY )
後續 ADI 全檢晶面是否異常 or 是否對準不良
機台加測 OVERLAY

所以並不會有異常的 WAFER 出去阿