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半導體業界的HKMG攻防戰:詳解兩大工藝流派之爭

TSMC 選擇轉向Gate-last工藝

advance process 下
FinFet 立體電晶體
FD-soi
III-V族
多柵立體電晶體


FINFET
http://en.wikipedia.org/wiki/FinFET#FinFETs
鰭式電晶體(FinFET) 是一種新的互補式金氧半導體(CMOS)電晶體,閘長已可小於25奈米,未來預期可以進一步縮小至9奈米


SOI MOS
http://en.wikipedia.org/wiki/SOI_MOSFET
PDSOI (partially depleted SOI) and FDSOI (fully depleted SOI) MOSFETs

FDSOI 全耗盡型絕緣層覆矽

突破FinFET/FD-SOI瓶頸 DDC技術讓SoC更省電






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