上海微電子SSA800 （28nm DUV 光刻機）已正式從研發驗證轉向規模化量產

好圖狼

132348分

31樓

好圖狼

個人積分：132348分

文章編號：93116729

不吃菜菜小娃 wrote:
你似乎沒有看懂SEMI...(恕刪)

別哭爸了.蠢鳥.對岸28nm DUV批量量產了.EUV也在進入測試階段

半導體業要準備迎接土石流來臨嗎

jimny_dc

搞不好只是個設備工程師, 以為自己多懂. [笑到噴淚]

2026-05-08 14:21

不吃菜菜小娃

470分

32樓

不吃菜菜小娃

個人積分：470分

文章編號：93116827

好圖狼 wrote:
.. 別哭爸了.蠢鳥.對岸28nm DUV批量量產了.EUV也在進入測試階段

半導體業要準備迎接土石流.(恕刪)

你是哭完了沒？整天洗什麼地？
對了，差點忘記你是連WAFER切片都聽不懂的笑到噴淚

經過我的教育之後現在有了解切片是什麼意思嗎？
麻煩你解釋一下光罩的問題如何解決？

半導體業界土石流？幻想症要去看醫生了。
天生冼地命、悲哀可憐笑到噴淚

你媽才蠢啦。

kenyeh99

[拇指向上][拇指向上][拇指向上]

2026-05-07 16:59

tteffuB 特肥吧

3708分

33樓

tteffuB 特肥吧

個人積分：3708分

文章編號：93119363

SSA800在生產效率上約為ASML NXT：1980Di的一半，但40%的成本優勢對於主要採用成熟製程的晶元廠商而言具有重要吸引力。 ASML 2024年財報顯示，其在中國大陸的營收佔比高達36.1%，這表明成熟製程設備在中國市場擁有巨大的存量空間，國產設備在性價比上的突破有望逐步蠶食這部分市場份額。

SSA800的實現得益於國內光刻產業鏈的協同進步，核心元件已基本實現國產化供應。
光源系統由科益虹源提供
光學系統由國科精密提供
工件台由華卓精科提供
從市場需求來看，28nm及以上成熟製程依然是全球晶元需求的主力。數據顯示，全球約70%的晶元使用28nm及以上的製程生產。上海微電子計劃在2026年出貨50至200台SSA800，這一出貨量目標反映出國內廠商對國產設備替代的信心。儘管在高端製程上仍有差距，但攻克28nm這一成熟製程的關鍵關卡，已為中國半導體製造產業構建了堅實的底層基礎。