lowstar wrote:一個193nm ArF光源非浸潤式DUV光刻機爲什麽能引起這麽多新聞,實在是搞不清楚,因爲這個性能指標只是ASML TWINSCAN 1460K的水準,2006~2008年的產品。我們可以合理懷疑實際上中國大陸已經做出193nm ArF光源浸潤式DUV光刻機(對標ASML TWINSCAN 1980系列)才會將舊一代的設備列入目錄。 上海微電子的28奈米光刻機1.0版與2.0版都已經量產2.0版在中芯可以生產對標台積電N5製程