DUV

中國實現國產DUV曝光機 可生產8奈米及以下晶片
【國際中心/綜合外電】中國工信部近日公布一項通知顯示,中國已取得重大技術突破,研發出深紫外光曝光機(DUV),可生產8奈米及以下晶片,目前正在推廣應用。中央社報導,中國工業和信息化部官網9日公布「首台(套)重... 更多

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