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tesla123 wrote:
氫氣發電是未來趨勢，也是綠能的。TSMC要建設氫氣廠，自己發電了(台GG自己製氫氣)。
氫氣發電，只會排放出H2O
資訊要持續更新啊~
2021年4月1日·5 分鐘 (閱讀時間)
文／劉光瑩 圖／黃明堂
法商亞東工業氣體日前在台南揭幕全球最大超純低碳氫氣生產設備，將以再生能源電解水取得氫氣。在完工典禮上，來自台積電與美商半導體企業的代表坐滿一整排，連台電董事長楊偉甫也特別出席。這看不見、摸不著的氫氣，為何攸關台灣半導體產業的未來競爭力？
台積電先進製程的未來 藏在一座台南的氫氣廠
3月18日上午，在台南科技工業區，一座兩層樓高的嶄新廠房外，貼著「水電解室」、「氧氣純化室」，以及許多三角形的警示標誌，乍看是普通的工業廠房，但卻藏著半導體產業先進製程不可或缺的原料。
這是亞東工業氣體廠最新完工的超純氫氣設備，預計以再生能源供電，電解超純水產出氫氣。亞東工業氣體是全球第二大工業氣體供應商、法國液空集團（Air Liquide）與遠東新世紀集團合資，為法國在台投資最大的製造商。
氫氣究竟有什麼重要？關鍵就藏在新聞稿裡的這一句話：
「這些氫氣生產設備將滿足極紫外光微影技術（EUV）應用中，對超高純度氫氣的新興需求，並利用更環保的氫氣製程，支援台灣主要半導體產業客戶對環境與氣候的目標。」
台積電與美商半導體企業都派代表出席
誰是「主要半導體客戶」？應該不難想像。在完工典禮現場，來自台積電與美商半導體企業的代表，坐滿現場一整排位子，不言自明。
但EUV為何會用到氫氣？還要超高純度？
簡而言之，EUV光的產生，是用每秒5萬次雷射光束轟擊液態錫，過程中錫被氣化後容易沉積在EUV的反光鏡上造成霧化，影響製程。因此注入氫氣，與錫結合成氣態的氫化錫，然後被抽出腔體。
根據業界人士估算，台積電第18廠等明年全面投產後，每天的氫氣需求量高達48輛槽車。
因應將來可見的新增需求，聯華氣體也已在南科樹谷園區購置土地，將設立2座以天然氣當原料的氫氣產製設備。
亞東的綠氫廠最不同的一點，就是將向台電購買綠電，以電解超純水的方式產出超純氫氣，生產過程無碳排。
台積電是制程有氫氣,不是要用氫氣發電.
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