eclair_lave wrote:
~590mm^2 ~3.2 billion transistors
24.5 x 24.5mm2 die(幾乎不可能再大了除非設計成長方形的,曝光機的最大工作面積就26x4x多)...(恕刪)
最大曝光尺寸26 x 33mm, 三大廠牌都一樣
這牽扯到鏡頭寬度與光罩長度
寬度26mm是因為鏡頭就只有這麼寬, 再寬就影響畫質了
長度33mm是因為光罩就只有這麼大
光罩為6吋, 然後曝到wafer上要除以4, 所以極限38.1mm
但是要扣掉pellicle的框架佔據部份空間, 33mm已經是極限了