A.Iverson wrote:
今天看論文看到這個想...(恕刪)
3重物質摩爾數加起來是1mol
按照比例算就好
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文章編號：17896239
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文章編號：17897074
Tinker wrote:
We have fabricated the transparent bottom gate and top gate TFTs using new oxide material of Al-Zn-Sn-O (AZTO) as an active layer. The AZTO active layer was deposited by RF magnetron sputtering at room temperature. Our novel TFT showed good TFT performance without post-annealing....(恕刪)
磁控管 (微波) 在室溫下偏軸濺鍍氧化鋁 !? 這有點難吧, 人家是 CVD 耶, 先用磁控管分解 TMA (Me3Al) ==> 沉積鋁膜 ==> 氧電漿或是水蒸氣處理 ==> 氧化鋁膜.
所以似乎是 (TMA+DMZ+DMT [Me3Al + Me2Zn + Me2Sn] ==> Al/Zn/Sn ==> Al2O3/ZnO/SnO2 . 而不是用 EB 直接把 Al2O3 打上去. 因為 SnO2 蒸氣壓高, PVD or EB 直接打的時候 Al2O3 (g) 會把 ZnO , SnO2 昇華蒸發掉!
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文章編號：17898694
