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據中國科學院蘇州奈米技術與奈米仿生研究所（Sinano）以及國家奈米科學技術中心週四宣布，他們在超高精度雷射光刻技術上取得了重要進展。
這項新技術打破了雷射直接寫入的傳統限制，使其能夠進行奈米級處理。大陸團隊開發了一種新型三層堆疊薄膜結構超高精度處理基於新型的三層膜結構。採用雙雷射束交疊技術，通過精確控制能量密度及步長，實現了5奈米的特徵線寬。值得注意的是，這是與ASML的EUV極紫外光刻技術完全不同的技術路線。
除了高精度外，該技術還展示了量產的潛力。雷射直寫技術可以每小時生產多達500,000個特殊的奈米電極。
真要自主研發！ 大陸中科院發表5奈米光刻技術
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文章編號：79882601
jeel54321 wrote:
搞不好大陸已經不想要(恕刪)
https://technews.tw/2020/11/09/is-there-a-solution-to-chinas-euv-blockade-asml-launches-7-nanometer-process-duv/
中國 EUV 封鎖有解？ASML 推 7 奈米製程 DUV
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文章編號：79882603
任正非指出，中國經濟總量這麼大，這麼大一棵樹，根不強不行，不扎到根，樹不會穩；中國基礎工業還是不強，小小一滴膠，就抑制一個國家的故事，已經看到了，這是分子工程，是高科技中的高科技；而這幾千種膠、研磨劑、特種氣體等，都是高科技中的高科技，中國現在還達不到，很多技術一年需求量只有幾千萬美元、幾百萬美元甚至更少，試看泡沫經濟下有幾個公司肯做這種事，但缺一種就會卡住一國的脖子。
任正非也提到，美國是世界最強大的科技國家，尤其吸引全球優秀人才，有特別獨到的優勢。現在美國主張中美科技脫鉤，美國是因為開放才走到今天的強大，封閉會重返落後；論文都會公開發表，可以查詢，應該要站在前人的肩膀上，堅持向一切先進學習，封閉不會成功。
任正非談話強調基礎教育和人才的重要性，他指出，中國每年有 700 萬至 800 萬大學生畢業，加上中專生約有 1 千萬，聰明人很多，如果一二一齊步走，同質化就缺少活力，就不易產生天才，政策要支持少數人因材施教；20~30 年後，中國的創新能力就大幅度增強，與美國的差距會適當縮小。他強調，沒有創新就支撐不了中國如此大的經濟總量持續發展。
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華為任正非說還要20~30年中美的科技差距才會縮小。
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jeel54321 wrote:
搞不好大陸已經不想要(恕刪)
是的，大陆目前其实已经不打算重复走ASML的路子，毕竟这相关方面集全世界之力都耗时了这么多年才达到目前的水平，而且方法还是传统的逐步积累，有点类似材料科学一样，不断的重复实验，再加之硅原子的直径大约是0.22nm，再考虑到原子之间的距离，理论至少是0.5nm，都快发展到硅材料的极限了。
所以，现在大陆主要是集中在全新方案上，就如大陆的自己的通讯技术几乎完全就是跳过3G，从4G起步，直到现在5G技术上的领先。这么多年来，大陆的跳跃式发展的高科技其实不少了，比如AI和无人机之类的，很多别国经历过的步骤大陆都直接跳过了。
不过你贴的这个文章，离实际应用可能还是要花几年吧。
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