我要回覆

有關於中國的EUV光源的開發...

Sinfield

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樓主

Sinfield

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ho520 wrote:
光阻劑也有分不同等級...(恕刪)

小粉紅他們不會知道

有關於G-line與I-line是用於汞燈做為光源
一般而言
我使用過的光阻：
薄光阻是S1813,S1818， AZ5214
中階厚度：AZ4620
厚一點： AZ9620

上述是正光阻

負光阻是SU-8

我是實際使用過～

關公面前耍大刀～

不同的光阻用於不同的波長

所以光源目前在業界使用的：

汞燈(G-line, I-line)
準分子雷射ArF: 193nm 這是DUV

EUV:13.6nm 這是EUV

在G/I-line的光阻有S1813/1818與AZ5214
我都有使用過
但我把S1813/1818淘汰只留下AZ 5214

因為S係列與AZ系列使用不同的顯影液
S系列使用MF319，怕光所以保存期不長

AZ系列的光阻可以統一使用AZ400K顯影液
AZ400K透明不怕光，可以保存很久
AZ係列光阻使用AZ400K只要稀釋不同比例就行

所以G/I-line我都統一使用AZ系列光阻～

shukae

1055分

252樓

shukae

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把不同意見者都拉黑
就能讓自己的是對的
真是太屌了拇指向上

colinucc

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253樓

colinucc

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殲二十 wrote:
菜娃說中國國產不了一種膜，日本對中國禁售，即能摧毀中國半導體。
S字頭說中國國產不了光阻，日本對中國禁售，即能摧毀中國奈米級半導體。

原來有兩樣東西能卡死中國半導體，巧了，這兩樣還都掌握在日本手上。
請兩位說清楚，日本到底向中國禁售了這兩樣東西沒有?

折騰了老半天，到底禁了沒有？笑到噴淚

不吃菜菜小娃

510分

254樓

不吃菜菜小娃

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笑死我了、另一楝樓可謂五毛大集合笑到噴淚

這主題為EUV光源的開發、好！就算不談光源
談半導體設備或材料也可、但請問五毛們那一位是有談論上述議題的？
最後你們一直希望看到美國禁售的項目、那我就成全你們笑到噴淚

這一盒可能是庫克先生要的
PS:就算談封裝、測試樓主也不會拉黑吧

Sinfield

16547分

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Sinfield

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不吃菜菜小娃 wrote:
笑死我了、另一楝樓可...(恕刪)

其實坊間的半導體教科書只談光阻
頂多講到多重曝光與EUV

其實光阻只是高階製程的一個部份而不是全部
那些多重曝光都是利用光阻來蝕刻spacer當硬遮罩
然後外行人不會去談hard mask的重要性
因為沒人跟外行人科普～

有關於封裝用的光阻
誰說光阻只能是液體的正/負光阻

封裝要厚膜光阻其實還有乾式光阻
用貼的就行
我用過所以我知道
教科書沒寫？

教科書沒寫的東西可多著呢⋯

Sinfield

16547分

樓主

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colinucc wrote:
折騰了老半天，到底禁...(恕刪)

成熟製程美國還沒禁
看ASML財報就知道了

有人無視那也沒辦法～

DUV美國還沒禁止輸入中國

據說要限制型號

懂曝光理論就知道

解析度
R=K1* 波長/數值孔徑NA

不同型號設計
就算都是用浸潤式193奈米的光源
K1值與NA都不一定相同

就算是有DUV曝光機
DUV也是要用LE或SAQP四重曝光才能製作7nm
會做與做的好是兩回事

舊的型號的解析度就會不好

四重曝光的關鍵spacer deposition/etching 更是關鍵

光講良率其實只是表面
有良率但內阻高耗電產熱高
如果內阻太高會熱當就要降頻跑

以前iPhone最後一次用三星的14nm與台積電的16nm製程
大家都愛台積電產的iPhone, 網傳還有可以根據型號判別

其實Apple也很賊
宣稱在平時使用差不多
平時使用CPU的功耗不高時當然差異不大⋯⋯ 笑到噴淚

不過嫌貨才是買貨人
Apple 從此就沒再使用三星製程
後來的10, 7, 5, 3nm製程都是台積電獨享～

其實站在客戶的角度來看
獨家供應商是不得已的苦衷
Apple喜歡雙重供應商讓彼此殺價競爭漁翁得利
面板就可以使用三星與LG
CPU被GG統包是不得已的選擇
現在三星的競爭力越來越趕不上GG
GG的營業利益是韓國數間大廠獲利的總合
其實大者恆大
有量才有機會練功
所以三星要殺價搶單
沒機會練經驗值會越輸越多⋯

什麼出道即巔峰
又不是歌星如周杰倫～

Sinfield

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樓主

Sinfield

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Sinfield wrote:
成熟製程美國還沒禁看...(恕刪)

微縮製程
除了拼曝光機外

其實CMP也是關鍵
因為微縮會讓景深DOF變小
讓CMP的要求更高
每次微縮製程遇到困難
CMP常是戰犯

據說GG自己改機
我一個在聯電當經理的同學抱怨買不到GG版的CMP～

華為在CMP這方面中芯的產品線沒到7nm
大概要自己搞
良率應該是從慘兮兮開始
即使業界霸主GG也是開發的很辛苦～