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小惡魔市集悅遊日本活動報導

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有關於中國的EUV光源的開發...

2984分

271樓

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文章編號：89975256

EUV 機台不光只有光的問題 , 還有還有 MASK , 光刻膠等 . 特別 EUV反射鏡 . EUV 得靠反射鏡面去反射不是透鏡 .

還很多難關.