Tracy k wrote:
其實只要把ASML的DUV光源部分
移除，改成外部導入光源，
一台土炮改裝版EUV光刻機就出來了...(恕刪)
可是193Arf的DUV是穿透（Trans)光源曝光，13.5nm的EUV只能全反射(Ref)，
把EUV光打進DUV的第一道透鏡後不只光源衰減嚴重，過兩三道就沒強度，偏折也會偏到控制不了的程度喔
我只談論技術，新聞的一些玄學建議聽聽就好
對岸是靠DUV狂堆Mask的方式，畢竟成熟製程技術面來說光源好控制
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Tracy k wrote:
半年前就有中國euv...(恕刪)
我很好奇這樣的環型加速器需要的能量很大吧，
一定超耗電，就算達到了EUV的波長，光的強度也足夠，
但電費一定超高，很懷疑會有經濟效益嗎 我看是沒有，越做越賠錢
台灣其實也有這種環型加速器，叫台灣光子源，但它只用來研究EUV，
並沒有商業化量產晶片，可見中國想要商業化也是不可能的。
https://www.nsrrc.org.tw/chinese/Industrial2.aspx
本中心提供同步輻射EUV光源(08A1, 21B2)，配合EUVL國家奈米計畫的執行與國內多所大學合作，於本中心成功建立多項關鍵設備與技術，其中包括(1). 配備四極質譜儀的光阻釋氣分析系統，(2). EUV反射儀以量測薄膜的光學(nkt)性質，(3). EUV干涉微影系統，(4). EUV輻射損傷評估系統，(5). 新建19A1 EUV光束線。未來仍將繼續規劃其他相關設施。
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奸20戰雞 wrote:
我很好奇這樣的環型加速器需要的能量很大吧，
一定超耗電，就算達到了EUV的波長，光的強度也足夠，
但電費一定超高，很懷疑會有經濟效益嗎 我看是沒有，越做越賠錢...(恕刪)
井蛙不可以語海，夏蟲不可以語冰
看看底下那些科學研究哪個贏過台灣?
上海光源（Shanghai Synchrotron Radiation
Facility，简称SSRF）是中国大陆第一台中能第三代同步辐射光源，坐落在浦东张江高科技园区，由国家、中国科学院和上海市人民政府共同投资建设，于2004年12月25日开工建设，2009年4月29日竣工，5月6日正式对用户开放，总体性能位居国际先进水平。上海光源首批建成7条光束线站，2015年～2018年期间，“梦之线”、蛋白质设施5线6站、SiP·ME2研究平台等陆续建成，截止到2022年6月，目前共有27条光束线39个实验站开放运行。
上海光源具有波长范围宽、高强度、高亮度、高准直性、高偏振与准相干性、可准确计算、高稳定性等一系列比其他人工光源更优异的特性，可用以从事生命科学、材料科学、环境科学、信息科学、凝聚态物理、原子分子物理、团簇物理、化学、医学、药学、地质学等多学科的前沿基础研究，以及微电子、医药、石油、化工、生物工程、医疗诊断和微加工等高技术的开发应用的实验研究。
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squcookies wrote:華為euv物鏡專利
可是193Arf的DUV...(恕刪)
https://www.youtube.com/watch?v=lRLlie0IGqw
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